全息干涉计量的应用研究

来源 :重庆大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yu8937
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全息干涉的基本方法有单次曝光(实时法)、二次曝光、连续曝光(时间平均法)、三束光单次曝光法、非线性记录的全息干涉、全息波前错位干涉法、全息莫尔条纹技术法等。全息干涉计量的应用很多,本文主要研究应用全息单次曝光干涉法,对物体转动前的位置(在转轴上放置感光板)进行曝光,获得一块全息光栅。利用读数显微镜测得这块光栅的空间周期。在相同光路中,还原这块光栅。物体转动前后的位置就分别与这块光栅形成莫尔条纹图象,应用CCD摄像机采集,应用计算机自动处理数据,就可求得微小转角。由于莫尔条纹具有放大作用,采用对莫尔条纹光电信号的细分技术,测量精度可以做得较高。实验表明,角度测量分辨率可达0.01度以上。该方法具有测量原理简单、实时、准确等优点。这种微小的转角(如:机床走刀架的倾斜度)可实现高精度检测,有效控制位移量,在实际工程技术领域具有重要意义。本论文的主要创新之处是提供了一种利用全息干涉莫尔条纹技术简单、实时、准确地测量微小角度的方法。本论文还对相关的实验设备进行了介绍,对误差进行了分析。
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