ZnO材料是应用最广泛的气敏材料,由于其比较常见,储量丰富,无毒无害,因此是比较理想的气敏材料。但是传统的ZnO气敏材料具有灵敏度低、选择性差、工作温度高等缺点。通常采用改变形貌和掺杂改性来改善其气敏性能。本文中通过溶胶凝胶法制备ZnO纳米棒并对其进行适量的In掺杂,以此来提高ZnO材料对乙醇的气敏性能。首先采用溶胶凝胶法制备ZnO溶胶和In掺杂含量为2at.%、3at.%、4at.%的ZnO溶胶,采用旋涂法将溶胶涂在叉指电极上,经过干燥预处理和高温退火,制备出不同ZnO材料的气敏元件。然后通过自己搭建测试系统对薄膜样品进行气敏性能测试。工作温度为300℃时,ZnO纳米棒对相同浓度乙醇气体的灵敏度高于传统的ZnO薄膜材料。In掺杂含量为3at.%的ZnO纳米棒薄膜对乙醇气体的灵敏度高于无掺杂和掺杂含量为2at.%和4at.%的ZnO纳米棒薄膜。说明棒状结构的ZnO材料气敏性能高于传统ZnO材料,也说明In的引入成功地提高了对乙醇的灵敏度,且In的最佳掺杂含量为3at.%。不同温度下,测量不同样品对200ppm乙醇的响应。实验发现无掺杂的ZnO纳米棒薄膜的最佳工作温度为350℃,掺In的ZnO纳米棒薄膜的最佳工作温度为325℃,说明In的掺入有效的降低了工作温度。文中也对选择性、响应恢复时间进行了测试。通过对测试结果进行分析和对比,总结出In掺杂的ZnO纳米棒材料相对于无掺杂的ZnO纳米棒和传统的ZnO材料都表现出了更好的气敏性能。