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TaN材料具有十分优越的物理、化学和机械性能。因其硬度高、耐磨性好、化学惰性、高温热稳定性、电阻率低,在耐磨涂层、薄膜电阻和扩散势垒等领域得到了广泛应用。因其具有超导特性和较高的载流子浓度,可在实验中观察到超导-绝缘体转变,超导涨落和反常金属相等输运现象,这些现象是凝聚态物理研究的热点。首先,本文研究了六角结构TaN块体(ε-TaN)的微观结构和电输运性质。实验发现,ε-TaN的室温电阻率很低(10~(-5)?cm),甚至可以与金属材料相媲美。电输运的测量结果表明其电阻温度系数低,具有金属导电特性,