氧化锌(ZnO)是一种直接带隙宽禁带(3.37eV)Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料，具有较大的激子束缚能(60meV)，可以在室温下实现紫外光的受激发射，为短波长发光器件和激光器应用提供了广阔的发展前景。近年来，对其研究和开发在国内外科学界及工业部门引起了极大的关注和兴趣。ZnO优异的特性和广泛的应用依赖于高质量，低成本的ZnO薄膜的制备。基于此，本文采用溶胶凝胶法制备出高质量的ZnO薄膜，并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光谱仪(UV-Vis)、光致发光光谱(PL)等方法测试和分析了不同Fe、Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、形貌、光学性能的影响。并通过对ZnO薄膜的变温光致发光规律的分析，揭示了ZnO薄膜的紫外发射和可见光发射的可能发光机制。　　第一章，简述了ZnO的基本性质和基本结构，分析了制备ZnO薄膜常用的几种方法，比较了他们之间的优缺点。回顾了近年来国内外ZnO薄膜在应用方面的发展，并提出本论文的立题依据和创新点。　　第二章，主要介绍了用于制备ZnO薄膜的溶胶凝胶技术的发展历史，基本原理以及成膜方法。最后介绍了本论文用到的测试手段及其工作原理。　　第三章，讨论了溶胶凝胶法制备ZnO薄膜的主要的影响因素，并详细分析了在相同工艺条件下，不同溶剂对制备ZnO薄膜的结构、形貌和光学性质的影响，研究发现乙二醇甲醚是生长高质量的ZnO薄膜的最佳溶剂，并对其生长机理进行了研究。　　第四章和第五章，采用溶胶-凝胶法，在石英衬底上制备了掺杂不同质量分数Fe、Cu的ZnO薄膜，并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光谱仪(UV-Vis)、光致发光光谱(PL)等方法测试和分析了不同Fe、Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、形貌、光学性能影响。　　最后，总结整个论文工作得到的重要结论，提出今后继续研究这一工作的方向。