【摘 要】
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随着飞秒激光技术和宽带光通信技术的发展,各种相位薄膜的设计和制备成为备受关注的研究课题。然而,传统的对薄膜光度特性的测试技术无法满足薄膜相位特性测试的要求。本文在总结国内外各种测试方法的基础上,提出了一种新型的白光迈克尔逊干涉系统。该系统采用微型光纤光谱仪记录干涉信号,并尝试加入微步进电机来驱动样品镜,可以直接提取群延迟信号,避免了由算法带来的数值误差,获取了更高的测试精度。本论文的研究工作主要涉
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随着飞秒激光技术和宽带光通信技术的发展,各种相位薄膜的设计和制备成为备受关注的研究课题。然而,传统的对薄膜光度特性的测试技术无法满足薄膜相位特性测试的要求。本文在总结国内外各种测试方法的基础上,提出了一种新型的白光迈克尔逊干涉系统。该系统采用微型光纤光谱仪记录干涉信号,并尝试加入微步进电机来驱动样品镜,可以直接提取群延迟信号,避免了由算法带来的数值误差,获取了更高的测试精度。本论文的研究工作主要涉及以下几个方面：1、光学薄膜相位特性测试系统的研究。在深入研究国内外各种光学薄膜相位特性测试方
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