基于FPGA的阵列式二维压电扫描镜开环补偿研究

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【摘要】

：

激光扫描镜是一种精确的光束控制器件,主要应用于空间光通信、激光雷达等领域,可以实现光束的精确偏转或者快速扫描。其中压电陶瓷驱动的激光扫描镜适合高频率小角度扫描,但是压电陶瓷驱动的微位移结构含有磁滞和蠕变等非线性效应,现有的数学模型很难对它们进行精确建模,这给压电陶瓷非线性效应的校正带来了巨大挑战。本论文为了补偿压电陶瓷的非线性效应,分析并测量了压电陶瓷工作频率在低于50Hz状态下的磁滞和蠕变特性,

【作者】

：

梁增基

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2017年05期

【关键词】

：

激光扫描镜开环补偿非线性效应电压-位移曲线现场可编程门阵列

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