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硅微谐振式加速度计是一种MEMS工艺制作的通过检测谐振器频率的变化来敏感加速度大小的微惯性器件,具有体积小、成本低、动态范围大等特点,在小型惯导系统中具有广泛的应用前景。测控电路是决定硅微谐振式加速度计关键性能水平至关重要的因素。为此本文以硅微谐振式加速度计的测控电路为研究对象,对其进行优化设计,降低了噪声和功耗。首先,本文建立了硅微谐振式加速度计系统级相位噪声模型,得到了噪声源参数与相位噪声的函数关系,揭示了噪声源对相位噪声的影响机理,为测控电路低噪声优化设计提供了方向性指导。其次,本文对闭环驱动