通常柔性电子工艺采用卷绕输送系统来完成柔性薄膜的传输，纠偏机理分析与应用是柔性薄膜输送系统的重要研究内容。本文以DR1075型框架偏摆式纠偏装置为研究对象，围绕纠偏装置的应用、机理分析及实验验证等方面开展工作。首先，建立了薄膜应力与芯片剪应力之间的关系式，基于有限元法得到了张力与薄膜应力之间的关系,为卷绕输送系统中薄膜张力设置提供了理论依据。针对电子器件定位精度的需求，给出了一种纠偏控制系统的优化方案。其次，基于薄膜横向偏移一阶动力学模型分析了纠偏框架结构参数的频率特性，得到最优纠偏模型为中间跨距与旋转跨距相等，检测跨距尽量小。对速度和入口跨距进行了时间响应分析，结果表明速度越小纠偏效果越好，入口跨距的选择应该适中。然后，分别建立了弯矩和剪切力与薄膜横向挠度之间的关系式，将薄膜设定为铁木辛柯梁，基于二阶动力学模型分析了薄膜参数对系统频率特性的影响，得到对系统频率特性影响最大的是薄膜宽度。最后，通过实验验证了薄膜进给速度、入口跨距及薄膜张力对纠偏效果的影响。实验结果表明，薄膜进给速度减小时最大超调量和前进位移都减小。入口跨距越大，超调量越小，但是薄膜横向收敛速度越慢。薄膜不打滑时张力的改变对纠偏效果影响不显著。