【摘 要】
：
随着移动通信技术的不断发展,通信频段不断提高,同时工作带宽也将进一步增大,对现有的滤波器在性能上提出了新的需求。传统的声表面滤波器受限于光刻工艺,其工作频段较低,无法满足通信频段高频化的发展需求,而基于薄膜体声波谐振器（Film Body Acoustic Resonator,FBAR）的滤波器凭借其性能强、体积小、承受功率大及工作频段高的特点走入了人们的视野,但是FBAR滤波器对设备、工艺与材料
论文部分内容阅读
随着移动通信技术的不断发展,通信频段不断提高,同时工作带宽也将进一步增大,对现有的滤波器在性能上提出了新的需求。传统的声表面滤波器受限于光刻工艺,其工作频段较低,无法满足通信频段高频化的发展需求,而基于薄膜体声波谐振器（Film Body Acoustic Resonator,FBAR）的滤波器凭借其性能强、体积小、承受功率大及工作频段高的特点走入了人们的视野,但是FBAR滤波器对设备、工艺与材料的要求十分苛刻,因此制备难度极大,较难完成大规模的产品化,因此对FBAR滤波器制备工艺的研究成为了重中之重。本工作首先从FBAR谐振器的工作原理与结构出发,阐述了压电薄膜等各层薄膜的性能对与谐振器性能的影响,通过对比确定了各层薄膜所用材料,紧接着介绍了FBAR滤波器的原理,并分别确定了谐振器与滤波器的结构。接下来针对谐振器中最关键的压电薄膜与电极薄膜的制备工艺进行了细致的研究。探究了溅射功率、溅射气压以及气体流量比等参数对薄膜择优取向及结晶质量的影响,并完成了镀膜工艺的优化。对镀膜工艺进行优化后,在仿真软件中建立了FBAR的Mason等效电路模型,将各项参数对谐振器的性能影响进行了仿真分析,接着在软件中将谐振器级联起来组成了FBAR滤波器,结合之前的仿真结果对FBAR滤波器的整体电路进行了优化并最终确定了设计方案。根据设计方案完成了FBAR滤波器的制备并对其性能进行了测量并对FBAR滤波器的中心频率与带宽这两项最关键的性能指标进行了优化,最终得到了可以应用于3400 MHz-3500 MHz频段的FBAR滤波器。
其他文献
＜正＞在当前的高考中,“物质结构与性质”属于选择性考试内容,以综合性客观题形式出现．随着新课程的落实,“物质结构与性质”已成为选择性必修课程,也必将成为新高考的必考内容．因此,做好对“物质结构与性质”高考题的研究,对深化新课程教学和新高考备考都具有积极的意义．
目的 探讨基于微信小程序的门诊预约挂号导诊服务对门诊慢性病患者候诊时间的影响。方法 选取河南大学第一附属医院2019年3月至2020年3月门诊就诊的慢性病患者60例，依据建档顺序分为2组：2组均给予导诊式服务，对照组30例采取门诊窗口挂号就诊，研究组30例采取微信小程序门诊预约挂号就诊。比较2组各环节（挂号、候诊、缴费及报告结果）等候时间、就诊满意度及顺利度。结果 与对照组比较，研究组挂号、候诊、
内部控制是企业提高管理水平，规范岗位职责、权力运行和持续发展的重要手段，更是推进企业治理体系和治理能力提升的重要保证。坚持依法合规治理企业，不断完善并落实落靠内控制度，强化内控制度的运行效果，提高防范化解各类风险的能力，是企业规范管理的关键点，也是当前和今后一段时期国企改革的重点任务。提高内控制度的有效运行，对于企业完善公司治理，具有十分重要的意义。
随着中国特色社会主义进入新时代，我国高等教育迈向高质量发展新阶段，一流大学建设进入新时期。教育评价改革是牵引新时代一流大学建设的重中之重，厦门大学全面贯彻落实《深化新时代教育评价改革总体方案》，坚持以“人才”为关键，以“学院”为主体，以“创新”为靶向，推进“三位一体”教育评价改革，与时俱进建设世界一流大学。
＜正＞“中国革命传统作品研习”是《普通高中语文课程标准（2017年版2020年修订）》设置的学习任务群之一。这类作品在统编教材中既有集中编排又有分散呈现，涵盖了各个革命阶段、各种文体，目标是在阅读和研讨语言典范、论辩深入、时代精神突出的革命传统作品中，强调革命传统在不同历史阶段的深刻内涵。由于学生对革命传统作品中的背景、内容存在一定的隔阂，教师在教学中，需要采取灵活多样的教学策略，有效梳理革命历程
空调外观是用户对空调品质的最直观感受，是制造过程重点关注的质量检验要点。从空调外观关键质量要点分析，研制空调外观视觉检测设备，采用机器视觉检测技术与在线自动检测技术相融合的方案，机器视觉检测技术包括检测对象提取、SAD算法、动态阈值滤波检测、图像边缘差分检测，在线自动检测技术采用机器人联动检测、多相机多线程同步控制、柔性自动定位设计方案，实现空调外观高效检测，提高检测的稳定性和精准度。经多次试验验
3D打印区别于传统减材制造,它通过对模型数字化立体扫描、分层处理,借助于类似打印机的数字化制造设备,利用材料不断叠加形成所需的实体模型。3D打印在特定应用领域大大节省了生产成本,提高了效率。与2D打印的B2C相比,3D打印目前集中于B2B模式,同时也在进一步扩展B2C的定制化多样性消费市场。3D打印金属和复合材料凭借其比传统材料更优异的机械特性（刚性、抗冲击性、轻便性等）和力学性能成为未来发展趋势
20世纪90年代的美国，随着家长居家时间减少，许多中小学生在上学前、放学后甚至假期处于无人看管或照顾不周的状态，不利于青少年的健康成长。针对这一情况，美国联邦政府于1998年颁布了“放学后计划”的主体计划《21世纪社区学习中心计划》（21st Century Community Learning Centers,21stCCLC），旨在为放学后的中小学生提供各类安全的活动场所和课程。该计划通过日益
目的 分析埋线提升联合玻尿酸填充在中面部年轻化中的应用效果。方法 围绕本院收治的100例中面部皮肤老化患者展开研究，均于2021年1月至2022年3月期间在郑东澳玛星光医疗美容门诊部就诊，并以随机抽样法为分组依据，将其分为对照组（N=50）及试验组（N=50），对照组仅接受埋线提升治疗，试验组埋线提升+玻尿酸填充治疗。对比两组中面部年轻化优良率、面部整形美容评价量表（Face-Q）评分波动情况、不
＜正＞"从以往的嘈杂忙碌到现在的宁静舒适和更加人性化的贴心服务,办税体验实现了质的提升。"谈起纳税服务的变化,济南热力集团财务负责人赵小媛如是说。作为一名税费服务产品体验师,赵小媛见证了国家税务总局济南市历下区办税服务厅近年来的一系列变化:办税窗口从64个减至10个;一摞摞厚厚的纸质资料简化成拥有72项常用功能的小小二维码……这些变化得益于国家税务总局济南市税务局推广的"码上办"服务。