【摘 要】
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该文系统全面地对准分子激光光束特性、准分子激光与物质相互作作、准分子激光微细加工工艺、加工装备及其在微机械系统制造领域的应用等方面进行了深入研究.根据准分子激光
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该文系统全面地对准分子激光光束特性、准分子激光与物质相互作作、准分子激光微细加工工艺、加工装备及其在微机械系统制造领域的应用等方面进行了深入研究.根据准分子激光应用于微电子制造和微机械系统制造时,作为脉冲式面光源并行加工使用的客观要求,提出了一套衡量准分子激光光束质量的指标体系.采用了一组光束诊断技术对90年代国际先进的德国Lambda-Physik LPX 305 iF型KrF激光器的光束特性进行了鉴定.通过实验和理论研究,掌握了准分子激光刻蚀高分子聚合物、无机非金属和金属材料的规律,获得了大量准分子激光微细加工工艺参数.通过微结构加工工艺及影响加工精度的因素研究,表明准分子激光微细加工技术采用掩模投影并行加工工艺,能获得高精度复杂三维形体微结构,且生产效率也高.研究开发了KrF准分子激光微细加工系统.设计了紫外激光导光系统、掩模照明系统、双远心物镜、希瓦兹希尔德物镜等光学及机电装置.研究了微机械系统制造技术,并将准分子激光微细加工技术应用于这一领域,首次用光刻膜以外的高分子体材和陶瓷材料制作成功直径50μm-500μm,10齿-108齿直齿圆柱微型齿轮.
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