【摘 要】
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该文1、介绍了表面波等离子体的概念,综述了国内外表面波等离子体源的研究、发展现状及其优点.2、对原环形波导狭缝天线表面波等离子体源进行了很多改善,使其成功地产生了柱
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该文1、介绍了表面波等离子体的概念,综述了国内外表面波等离子体源的研究、发展现状及其优点.2、对原环形波导狭缝天线表面波等离子体源进行了很多改善,使其成功地产生了柱状大体积等离子体(φ30),所得等离子体的各项参数都得到了明显的优化.3、利用微波单探针测量了等离子体内微波场分布,并分析研究了其随气压和功率的模式变换及其和实验中所发现的有趣的等离子体光发射之间的关系.4、研究了等离子体在镀膜方面的应用.介绍了两种通过等离子体镀膜的途径延长塑料瓶装饮料、化妆品等保质期的方法.5、通过XPS分析测试,得到了二氧化硅膜;并且通过透拉测试,镀膜后与镀膜前的PET膜对氧气的透过率减小2倍以上,充分证实了在PET膜表面淀积SiO<,2>膜可以提高其阻氧性能.
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