低频光学隔振台主动负刚度隔振器研制

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传统被动隔振器受弹性部件的材料特性和结构制约,结构刚度很难进一步降低,隔振固有频率一般在2Hz左右。同时,隔振器的工作距离和弹性元件的刚度之间存在固有矛盾。因此,迫切需要对高端隔振技术进行研发,满足对于精密隔微振技术越来越高的需求。本课题针对现有隔振技术存在的问题,设计了一种主动负刚度隔振器,以主动方式产生负刚度特性,降低被动隔振方式的刚度和固有频率,搭建了正负刚度并联的隔振系统,实验验证了主动负刚度隔振器的有效性。本课题主要完成以下几部分工作:首先,为验证正负刚度并联隔振方法的可行性,建立了正负刚
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