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目前基于真空电子学的太赫兹源是产生太赫兹波的最有效方法。在真空太赫兹器件中阴极起了极其关键的作用,目前热阴极很难适应真空太赫兹器件在结构方面的要求,特别是μW到W级的中小功率真空太赫兹器件,其对体积要求非常苛刻,热阴极已经无法胜任。场致发射阴极因工作温度低、体积小、启动速度快等独特优点,使其成为真空太赫兹器件阴极的首选。本文的主要工作是根据太赫兹器件的要求制备碳纳米管微束阵列,使其能应用于太赫兹器件中。以下为本论文主要完成的研究内容：(1)探索碳纳米管阵列的生长工艺。在本论文中,分析了不同生