【摘 要】
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静电问题一直是工业领域(尤其是半导体领域)不可忽视的问题,随着我国电子工业的不断升级,电子元件将越来越小,越来越精密,其静电敏感度在不断升高,而且静电超敏感元件所占比
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静电问题一直是工业领域(尤其是半导体领域)不可忽视的问题,随着我国电子工业的不断升级,电子元件将越来越小,越来越精密,其静电敏感度在不断升高,而且静电超敏感元件所占比例也在不断增大。因而国内必须在静电超敏感领域建立起自己的防护标准与认证体系,这不仅需要对静电起电原理进行深入的研究,还需要大量实验与数据的支撑。为此本文先从人体模型(Human Body Model,简称HBM)起电过程的原理入手,发现人体静电起电是静电电荷聚集与消散两个过程动态平衡的结果。如果人体连续不断地进行起电动作(如连续行走),人体所带静电的电荷量会趋近饱和,此时人体静电电压与人体起电率和人体对地泄漏电阻有关,人体起电率表征人体静电的聚集过程,人体泄漏电阻影响人体静电的消散过程。接着分析实际人体行走时,会对人体起电率和人体泄漏电阻产生影响的几点因素,并将这些因素列为实验参量,参照现行标准中规定的六步行走模式展开实验。实验发现:人体行走电压与人体对地电阻大致成正比例函数关系,其比例系数即为连续行走时的人体平均起电率;人体行走电压与人体对地电阻值都会随环境温度及相对湿度的增高而降低,且降低趋势较好的呈现指数函数关系;但相对湿度几乎不会影响人体行走时的起电率,而环境温度的升高会使人体行走起电率增大。为了对静电防护区内的人体起电进行控制,还分析了科研工作人员在静电防护区内的其他起电动作,如随机行走、外衣与座椅分离、抬起双脚和脱去外衣等;再将人体行走电压当作随机变量,从概率统计的角度对进行外推,预估人体在长期行走中可能达到的最大起电电压。最后依据以上两点对已有的静电防护区域进行评估与建议。
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