目前,由于传统的动圈式地震检波器达不到精密地震勘探的性能要求,研究具有尺寸小、分辨率高和低频响应特性好等特点的MEMS加速度计有着重要的现实意义.该文首先以高分辨率和高成品率为设计目标,分析了影响加速度计分辨率的因素,在分析比较基础上采用了直齿梳状敏感结构,从而大大提高了结构的开环灵敏度;进而通过引入静电负刚度技术,达到了在不降低加速度计机械刚度、提高产品成品率的前提下降低结构总刚度的效果,提高了加速度计的灵敏度与分辨率.通过对当前微加工技术的分析比较,确定了采用深度反应离子刻蚀技术加工芯片并详述了制作工艺.然后,为了对加速度计整个系统进行仿真,论文根据微加速度计机械结构的动力学模型确定了微加速度计机械结构的等效电路,又通过数学类比方法建立了差分电容检测结构的等效电路;进而确定了微加速度计接口电路各功能模块的具体电路并进行了仿真,验证了模型及电路的正确性.最后,利用微加速度计整个系统的等效电路对系统性能进行了仿真及改进.仿真得到的静电负刚度电压的极限值与理论值基本吻合,证明了理论分析的正确性;改进后的系统能够达到输出稳定;对加速度计开环系统与闭环系统的仿真分析,表明了该文设计的闭环系统可以减小结构热噪声、抑制非线性、扩展系统的频率范围.对实际制作的微加速度计系统进行的初步实验,表明了该文理论分析的正确性与可行性;器件中梁的加工精度有待进一步提高.