高精度和高分辨率的精密宏、微位移工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位,它直接影响精密、超精密加工精度、精密测量精度及超大规模印制电路板和液晶显示器的生产水平。本文通过对工作台本身机构需求稳定的研究,采用了主动与被动相结合的混合振动隔离系统,为平台微纳米测量和运行提供一个良好的隔振环境,并进行了隔振系统被动隔振性能的测试分析与主、被动混合隔振系统的设计研究,被动隔振系统的两级被动隔振的隔振性能明显优于单级被动隔振系统。本文通过对构成激光干涉理论及技术的研究,研究激光干涉的三要素,即光源、干涉仪结构和干涉信号处理方法,得出双频激光干涉仪具有激光光源频率稳定度高、单色性好的,彻底克服了单色光源对于干涉仪结构的限制,是很好的测量和反馈系统。本文研究了针对工作台X、Y方向分别做直线和步进运动的驱动做了研究,认为通过PID方式控制的直线电机和闭环反馈伺服电机能够在精度、速度和通过多功能控制器PMAC使得其可控制性都能很好的满足工作台的需求。本文研究了微进单元的压电陶瓷,其中压电陶瓷驱动电源是微进给装置的关键部分,在权衡高精度和负载能力的情况下,研究了压电陶瓷驱动电源的硬件部分,和开关式高精度压电陶瓷驱动电源和直流放大驱动电源的方案。