【摘 要】
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CdZnTe材料具有吸收系数大、禁带宽度较大等优点,适用于薄膜太阳能电池的吸收层材料。本文采用磁控溅射法依次制备CdZnTe太阳能电池的CdS膜、CdZnTe膜、Cu电极,探索不同薄膜制备工艺对电池性能的影响。本文采用磁控溅射法在衬底上依次制备CdS薄膜CdZnTe薄膜、Cu电极,构成CdZnTe太阳能电池。运用X射线衍射仪、紫外可见光分光光度计、原子力显微镜、半导体测试系统等测试设备分析了薄膜的
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CdZnTe材料具有吸收系数大、禁带宽度较大等优点,适用于薄膜太阳能电池的吸收层材料。本文采用磁控溅射法依次制备CdZnTe太阳能电池的CdS膜、CdZnTe膜、Cu电极,探索不同薄膜制备工艺对电池性能的影响。本文采用磁控溅射法在衬底上依次制备CdS薄膜CdZnTe薄膜、Cu电极,构成CdZnTe太阳能电池。运用X射线衍射仪、紫外可见光分光光度计、原子力显微镜、半导体测试系统等测试设备分析了薄膜的性能,研究获得较好的太阳能电池性能所需要的工艺参数。结果表明：制备出结晶性好,致密,薄膜厚度较薄,光透射
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