【摘 要】
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该文在进行一定理论分析的基础上,主要对不锈钢、单晶硅和AlO陶瓷三种材料进行了激光加工实验性研究.研究了不同激光参数下激光对三种材料切割和打孔时所产生的现象和规律;研
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该文在进行一定理论分析的基础上,主要对不锈钢、单晶硅和Al<,2>O<,3>陶瓷三种材料进行了激光加工实验性研究.研究了不同激光参数下激光对三种材料切割和打孔时所产生的现象和规律;研究了纳秒脉冲激光加工时空气电离和与工件作用时产生等离子体现象,以及由此对加工效果所产生的不良影响.进行了上述三种材料水辅助激光加工实验研究.研究了水辅助激光加工单晶硅过程中加工表面微裂纹产生的原因;研究了加工过程中气泡的产生和破裂对排除熔屑的影响,结果表明,在加工Al<,2>O<,3>陶瓷时,气泡的产生和破裂过程有助于熔屑排出加工区,提高激光加工的质量,但激光在通过水层时会有能量损失,所以水面离工件表面的高度不易过大.
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