直驱H型平台由三台结构参数相同的永磁直线同步电机(Permanent Magnet Linear Synchronous Motor,PMLSM)构成。由于PMLSM易受端部效应、外部扰动与非线性摩擦力等不确定因素影响,造成直驱H型平台各个单轴存在较大的位置跟踪误差,同时机械耦合会导致Y方向双轴伺服系统的同步精度下降。本文的研究目的是减小直驱H型平台单轴的位置跟踪误差以及提高双轴间的同步控制精度。首先,介绍了直驱H型平台在国内外的发展现状、研究现状及其主要控制策略,并根据PMLSM的基本原理建立了包含推力波动、外部扰动和机械耦合等不确定性因素的直驱H型平台数学模型。其次,针对直驱H型平台易受推力波动、外部扰动与机械耦合等不确定性因素的影响而导致系统存在的位置跟踪误差和同步误差的问题,设计了一种非奇异快速终端滑模(Non-singular Fast Terminal Sliding Mode,NFTSM)同步控制策略。采用交叉耦合将平台的单轴跟踪误差和双轴同步误差相结合,设计得到混合误差,并将混合误差作为控制状态变量,削弱双直线电机间的耦合作用,以提高平台的双轴同步精度,利用Lyapunov稳定性定理证明了所设计控制系统的稳定性。然后,为了进一步减小直驱H型平台的单轴跟踪误差和双轴同步误差,提高系统对不确定性因素的鲁棒性,设计了一种智能非奇异快速终端滑模(Intelligent Non-singular Fast Terminal Sliding Mode Control,INFTSM)同步控制方法。利用RBF神经网络对系统的不确定因素进行在线估计,并作为前馈信号补偿到双直线电机伺服系统,同时设计具有衰减因子的趋近律,以削弱系统的抖振现象。通过稳定性定理的证明验证了智能非奇异快速终端滑模控制能使系统的跟踪误差和同步误差收敛,保证了系统的稳定性。最后,分别建立了基于传统滑模控制、非奇异快速终端滑模控制和智能非奇异快速滑模控制的直驱H型平台伺服系统的仿真模型,并进行了仿真对比分析。仿真结果表明,基于智能非奇异快速终端滑模的控制系统相较其他两种控制方法,具有单轴位置跟踪误差更小,双轴同步控制精度更高,鲁棒性更强以及抖振更小的优点。