【摘 要】
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随着光学技术的不断发展,非球面光学元件以其优越的光学特性被应用于多个领域,然而非球面光学元件在检测方面的困难制约了其广泛应用。子孔径拼接干涉检测技术,因具有拓展干涉仪的横向和纵向动态范围,能够对非球面进行低成本、高分辨率检测的优点而成为一个重要的研究课题。本文针对子孔径拼接干涉检测非球面开展了以下研究。首先介绍了子孔径拼接干涉检测的基本原理,对各种子孔径形状和各种拼接模式进行了比较,在此基础上介绍
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随着光学技术的不断发展,非球面光学元件以其优越的光学特性被应用于多个领域,然而非球面光学元件在检测方面的困难制约了其广泛应用。子孔径拼接干涉检测技术,因具有拓展干涉仪的横向和纵向动态范围,能够对非球面进行低成本、高分辨率检测的优点而成为一个重要的研究课题。本文针对子孔径拼接干涉检测非球面开展了以下研究。首先介绍了子孔径拼接干涉检测的基本原理,对各种子孔径形状和各种拼接模式进行了比较,在此基础上介绍了拼接算法的基本原理,包含两两拼接算法、全局误差均化算法和局部误差均化算法。其次完成了非球面
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