微波功率模块结合了固态功率器件和电真空功率器件的优点,在现代雷达、电子对抗等领域得到了越来越广泛的应用。微波驱动前端是微波功率模块重要的组成部分之一,承担着微波功率模块主要的增益放大工作,直接决定着微波功率模块的工作性能。现代科技的飞速发展,微波驱动前端需要更高的工作效率、更小的尺寸来适应复杂应用环境。宽带工作状态下,行波管和固态放大器难以实现平坦输出,需要均衡器提供复杂均衡曲线修正行波管输出曲线。微波驱动前端中均衡器的小型化和实现复杂曲线将是未来的研究重点,需要在传统均衡器的基础上结合新结构、新材料和新工艺制作满足需求的均衡器。针对传统均衡器难以实现复杂均衡曲线的问题,通过将传统微带枝节和基片集成波导相结合,设计了一种可以产生两个谐振频点的谐振单元结构,采用此结构制作了一款双峰均衡器,实测结果显示在28GHz和35GHz实现两个均衡峰,均衡量为10.8dB;通过双电流探针激励的方式实现基片集成波导谐振腔的双模谐振,并采用多层基板实现了一款双峰均衡器,测试结果显示在24.5GHz和35GHz实现了两个均衡峰,均衡量为10.8dB。针对传统均衡器尺寸过大的问题,通过在多层基板中添加平行金属带线,增加了微带枝节的电容值,减少谐振器尺寸,同时平行金属带线与微带枝节形成了双边平行线结构来增加了一个谐振频率点,实现了双峰曲线,采用此结构制作了一款均衡器,实测均衡量为11.6dB,回波损耗优于9dB,尺寸为10mm×9mm。针对项目需求完成了两款工作频率为26.5GHz~40GHz的毫米波小型化驱动前端,一款均衡量为20.7dB,均衡精度为±1.2dB,尺寸为60mm×35mm×18mm。另一款均衡精度为±1.4dB,具备开关控制和功率检测功能,输出曲线满足设计要求。