【摘 要】
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近年来随着PZT薄膜制备工艺的成熟,学者们热衷于寻找提升薄膜性能的方法以将其能够应用于更加广阔的领域。本文选取最常见的化学制备方法溶胶凝胶法来制备PZT压电薄膜并对薄膜的性能进行表征。利用COMSOL仿真软件对PZT薄膜的厚度以及弹簧结构进行了模拟优化,为后续实验部分提供参数指导。通过引入PbZrO_3种子层和Dy、Er两性离子来对PZT薄膜进行改性。全文主要工作如下:(1)采用COMSOL仿真软
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近年来随着PZT薄膜制备工艺的成熟,学者们热衷于寻找提升薄膜性能的方法以将其能够应用于更加广阔的领域。本文选取最常见的化学制备方法溶胶凝胶法来制备PZT压电薄膜并对薄膜的性能进行表征。利用COMSOL仿真软件对PZT薄膜的厚度以及弹簧结构进行了模拟优化,为后续实验部分提供参数指导。通过引入PbZrO_3种子层和Dy、Er两性离子来对PZT薄膜进行改性。全文主要工作如下:(1)采用COMSOL仿真软件对PZT薄膜的厚度、弹簧结构宽度及弹簧结构中剩余PZT厚度等参数进行了模拟仿真,确定了PZT薄膜厚度为
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