【摘 要】
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该课题在剖析两种集成加速度传感器芯片的基础上,完成信号处理电路的提取和系统的分析.分别采用新顺公司提供的4微米BiPMOS工艺的晶体管模型参数及电子24所提供的4微米CMOS工
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该课题在剖析两种集成加速度传感器芯片的基础上,完成信号处理电路的提取和系统的分析.分别采用新顺公司提供的4微米BiPMOS工艺的晶体管模型参数及电子24所提供的4微米CMOS工艺的晶体管模型参数对信号处理电路进行了分析、计算和模拟.其信号处理电路包括基准电压源、偏置电流源、振荡器、方波发生器、缓冲器、预放大电路、自检测电路、缓冲放大器、解调滤波电路、时钟产生电路、高频载波产生器、偏置电压源和基准电流源.两个系统都具有自测试功能,电路系统输出电压信号与加速度信号成正比关系.该文在系统稳定性分析和Matlab软件系统仿真的基础上,完成电路模块功能和性能指标的确定,为信号处理电路提供了设计依据.对各部分单元电路进行了原理分析和理论计算、电路模拟以及优化,模拟结果说明单元电路所实现的功能符合系统设计要求.将各部分单元电路进行了整体Hspice模拟,其模拟结果符合设计要求.所研究的信号处理电路既可用于表面微机械加工工艺制作的差分电容式传感器进行信号处理,实现单片集成,又可用于对体硅工艺制作的差分电容式传感器进行信号处理,实现混合集成.
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