表面等离激元已成为纳米光子学领域中的重要组成部分,主要有表面等离激元和局域表面等离激元两种电磁波传输模式,电磁波与金属纳米结构在一定条件下能发生表面等离激元共振的效应。在微纳器件的加工工艺中,由于纳米压印技术具有成本低、分辨率高和可复制性好等优点,纳米压印技术正不断应用于实际工业生产中。先进的纳米工艺使制备具有表面等离激元振特性的金属纳米结构成为可能,可应用于光学信息存储、生物化学传感、光电检测等领域。本文利用纳米压印技术制备周期性金纳米孔洞阵列结构,利用有限元法进行数值模拟计算并分析周期性金纳米孔洞阵列结构的光学性质;利用有限元法和等离激元等效电路理论对周期性金属-介质-金属亚波长结构进行研究和拓展。主要工作内容及结果如下:利用纳米压印技术对周期性金纳米孔洞阵列结构进行研究,经过纳米压印、等离子刻蚀以及蒸镀金属等一系列实验步骤制备周期性金纳米孔洞阵列结构,同时利用有限元法建立电磁模拟仿真模型,计算周期性金纳米孔洞阵列结构的光学性质和电磁场分布。由于入射光与周期性金纳米孔洞阵列结构产生表面等离激元效应,电磁波被束缚在金纳米孔洞边缘,在金纳米孔洞边缘电磁场强度最强。通过改变周期性金纳米孔洞阵列结构周围介质环境的折射率,可得到周期性金纳米孔洞阵列结构的反射率灵敏度。利用基于有限元法的COMSOL Multiphysics软件对周期性金属-介质-金属亚波长结构进行电磁模拟仿真,并利用等离激元等效电路理论,结合对电阻R、电感L和电容C的数值计算谐振波长,当谐振波长发生偏移时,在保持介质层宽度不变时计算出对应的相同介质的厚度,并与电磁模拟计算结果进行对比分析。对周期性金属-介质-金属亚波长结构进行拓展,在传统滤波器的基础上可以实现近红外波段的超材料滤波器,并能构建宽带的完美吸收体。