【摘 要】
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根据电化学原理，采用电化学沉积方法，在自行设计及制作的电解装置中，以石墨作为阳极材料，SnO_2导电玻璃、不锈钢和SnO_2/Al作为阴极衬底材料，在配制的简单盐溶液中，进行GaAs和AlGaAs薄膜生长条件系列实验。用X射线衍射仪、X射线波谱仪和日本岛津EPMA-1600和EPMA-8705电子探针对薄膜的形貌、结构和成分进行分析和判定，得到了化学计量比接近1：1的GaAs薄膜以及...
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根据电化学原理，采用电化学沉积方法，在自行设计及制作的电解装置中，以石墨作为阳极材料，SnO_2导电玻璃、不锈钢和SnO_2/Al作为阴极衬底材料，在配制的简单盐溶液中，进行GaAs和AlGaAs薄膜生长条件系列实验。用X射线衍射仪、X射线波谱仪和日本岛津EPMA-1600和EPMA-8705电子探针对薄膜的形貌、结构和成分进行分析和判定，得到了化学计量比接近1：1的GaAs薄膜以及
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