微机电系统以其微型化、集成度高和产量高等优势成为未来发展的主导产业之一。微梁作为微机电系统最常见的结构之一,对其力学性能的探究是提升微机电系统各项指标的基石。不少实验证实采用经典弹性力学分析微结构力学性能存在明显的尺寸效应,建立适用微尺寸结构的理论模型成为必然趋势。广义弹性力学计及了连续的旋转变形及相应的偶应力,完善了变形的度量,适用于分析微结构的力学性能尺寸效应。从虚功原理建立广义弹性体的有限元动力学方程,对悬臂微梁和两端固支微梁的固有频率和模态进行数值分析,结果表明微梁的固有频率是否存在尺寸效应与对应的模态有关。微梁的弯曲和扭转模态由于包含了旋转变形,对应的固有频率较之经典弹性力学有显著提高,而拉压模态不涉及旋转变形,其固有频率没有明显变化。微梁固有频率的尺寸效应也与约束相关,两端固支微梁的固有频率尺寸效应明显低于悬臂微梁,约束的强弱将影响旋转变形的效应。从静止到运动一直是科学发展必须跨越的阶梯。微机电系统的旋转结构常常保持高速旋转,对这种高速运动与变形耦合是否存在尺寸效应的研究具有重大意义。基于广义弹性力学,建立离心环境下广义弹动力学模型,对定轴旋转梁的动力学特性分析。结果表明,旋转梁的固有频率将随转速的改变而变化,且与旋转姿态相关。旋转微梁的固有频率同样具有显著的尺寸效应,但其随转速的变化趋势与宏观尺寸旋转梁保持一致。