随着TFT-LCD的普遍应用及大世代Array基板尺寸的不断增加，对其ITO工艺后的Array玻璃基板的检测精度及速率要求也越来越。目前国内大多数中小TFT-LCD生产厂商依然沿用传统的人工在高倍显微镜下用肉眼的检测方式，存在着诸如效率低下、容易造成二次污染及检测精度不具有客观性等弊端。由此本文提出了基于机器视觉的ITO Array玻璃基板的缺陷在线检测方法，其具体是指采用机器视觉技术，对于ITO工艺后的Array玻璃基板进行短路、断路及污点等缺陷的检测。由于机器视觉技术具有自动化程度高、非接触等优点，有利于大大提高产品检测的效率和保证产品的质量。本文以ITO Array基板的在线检测为目标，构建了一套以PC机为图像采集及处理核心、以DSP控制的伺服系统为外部机电信号控制器的检测装备，对ITOArray玻璃基板的检测方案、机器视觉检测系统的构成、机电控制系统的软硬件设计等几个关键问题进行了研究。本文所做的研究工作主要包括如下几个部分：1ITO Array玻璃基板视觉检测装备的构建(1)针对ITO Array玻璃基板特点，提出了多种检测方案，并选择最优方案。设计ITO Array玻璃基板在线缺陷检测的方案和流程。(2)根据被检测物体的显微检测及高反光的特点，从理论上分析成像系统的独特需求，阐述了机器视觉系统的总体构成，相机、镜头、光源等的独特选用原则。并最终构建满足要求的光学成像系统。2检测装备控制系统设计由伺服电机与伺服控制器构成直线运动部件伺服控制系统，并基于DSP系统进行总系统的集成控制。集中解决了线阵相机行频与检测物体运动速度不一致、被检物体启停时的合理加减速运动规律的设计等问题。