基于激光/微笔直写的静电驱动可变电容制备技术研究

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【摘要】

：

在射频领域,射频微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)可变电容拥有广阔的发展前景,近些年来得到国内外众多MEMS科研机构的广泛重视。激光微熔覆技术和微笔直写沉积技术因柔性化程度高而成为MEMS微制造领域重要的新型微加工制造技术。在国家“863”高技术发展研究计划项目的资助下,本课题设计并制造了一种上极板可动,下极板固定的静电驱动RF MEMS可变电容

【作者】

：

胡昆仑

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

可变电容静电驱动激光微熔覆微笔直写微机电系统

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