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随着微纳制造技术和纳米材料科学的迅猛发展,微机电系统(MEMS)也迎来了新的机遇和挑战。石墨烯和过渡金属硫化物等二维材料已经被广泛用在了滑动元器件和摩擦副中。由于二硫化钼(MoS2)和二硫化钨(WS2)优异的摩擦性能,它们已经被作为固体润滑剂、润滑油添加剂和抗磨涂层等用于微机电设备、航空航天以及国防工业等领域。众所周知,材料的摩擦性能与薄膜厚度、相对滑动速度和相对环境湿度等有着很大的依赖关系。但是,目前这些因素对MoS2和WS2纳米片的摩擦性能的影响尚不清楚,这严重影响着它们在器件中的稳定应用。因此