随着电子技术的高速发展,电子系统的应用领域越来越广泛,电子设备的种类也越来越多,电子设备与人们的工作、生活的关系日益密切。任何电子设备都离不开可靠的电源,它们对电源的要求也越来越高。现代社会中,对某些产品的硬度都有一定的要求,为了达到这个目的,在工业生产过程中,往往需要对某些产品进行表面镀膜,以增强其耐磨性和耐刮性;譬如日常生活中的手表和手机外壳、譬如工业领域中用到的钻头,刀片等等。在物理化学领域,这属于表面改性,需要使真空炉中的某些气体在一定的气压和真空度下进行强电场等离子体电离,从而对真空炉中的挂件进行等离子体表面镀膜;这就需要一个高频脉冲电源对真空炉的两个电极施加一定频率的电压场。本论文所研究设计的电源正是满足这种需要的高频脉冲电源。本文所设计的电源采用了三相工频交流电电源输入,经过三相可控硅整流滤波后,再通过全桥逆变和高频变压器升压;控制电路采用PWM(脉宽调制)和PID(比例、微分、积分)控制,从而得到设备所需要的高频方波脉冲。经过理论研究、原理图设计和整机实验,样机基本达到了原先的设计目标,但某些方面还需要进一步的完善和改进。