【摘 要】
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硬质薄膜因能显著改善切削刀具的切削性能及工模具的抗磨损性能、提高它们的使用寿命,在现代化工业生产中广为应用.合理设计薄膜的微结构能大大提高它们的力学性能,是硬质薄
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硬质薄膜因能显著改善切削刀具的切削性能及工模具的抗磨损性能、提高它们的使用寿命,在现代化工业生产中广为应用.合理设计薄膜的微结构能大大提高它们的力学性能,是硬质薄膜研究的一个重要领域.具有非晶包覆纳米晶微结构的纳米复合膜能同时具有超高硬度及好的韧性,其特殊的强化机制具有重要的理论研究价值,而其优良的力学性能使之具有良好的应用潜力.该文以具有较高硬度以及良好的抗氧化能力的(Ti,Al)N薄膜为基础,通过(Ti,Al)复合靶和Si靶在N2中对旋转衬底进行轮溅的双靶反应溅射和一个(Ti,Al)复合靶在N2和SiH4两种反应气源中溅射的双气源反应溅射两种工艺向薄膜中加入Si,制备了一系列Ti-Al-Si-N纳米复合膜.采用EDS、AES、XRD、TEM等方法表征了两种工艺制备的复合膜的成分、相结构和微观组织,并利用微力学探针测量了复合膜的硬度和弹性模量等力学性能
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