我国高技术产业技术创新活动相对粗放，不同省份高技术产业技术创新能力参差不齐，成为阻碍中国高技术产业竞争力提升的重要因素。目前，学术界关于高技术产业创新效率的测度方法主要包括以随机前沿分析(stochastic frontieranalysis，SFA)为代表的参数方法和以数据包络分析(data envelopment analysis，DEA)为代表的非参数方法，分别属于计量经济学方法和数学规划方法，但相关文献研究存在一定局限。一是以SFA为代表的参数方法难以准确设定创新过程具体函数形式，测算结果可能因此存在偏差。二是以DEA为代表的非参数方法，现有文献主要以静态和单阶段分析为主，关于创新过程和的动态过程的少数研究文献主要基于Russel测度、Pareto-Koopmans测度、Malmquist指数方法或Windows分析方法，在测度创新过程效率和跨期动态效率时仍然存在一定不足。　　要提升高技术产业竞争力，前提是全面深入地测度和评价高技术产业创新效率，分析各地区高技术产业创新效率差异的内在原因、收敛趋势以及影响因素，在此基础上寻求提升路径。为此，本文首先对数据包络分析模型及高技术产业创新理论进行了分析，为构建高技术产业创新效率评价模型以及开展实证分析提供理论依据和奠定技术基础;其次根据高技术产业创新过程的两阶段链式特征，构建了基于松弛变量测度的网络数据包络分析模型(network slacks-based measuredata envelopment analysis model，NSBM-DEAmodel)，对全国及28个省份高技术产业创新的整体效率以及技术研发和技术转化子过程效率进行了测度和分析;根据高技术产业投入产出的跨期联系机制，构建了基于松弛变量测度的动态数据包络分析模型(dynamic slacks-based measure data envelopment analysis model，DSBM-DEA model)，对2004-2012年全国及28个省份高技术产业创新的整体效率、时期效率以及收敛特征进行了测度和分析;根据高技术产业创新系统的理论框架，构建了动态面板计量模型，选取2004-2012年我国28个省份的面板数据，对全国及三大区域高技术产业创新效率的影响因素进行了实证分析;最后对前述实证结果进行归纳和综合，结合我国高技术产业发展现状，从高技术产业成长的综合视角，提出促进我国高技术产业创新效率提升的对策建议。　　论文主要结论如下:　　①从创新过程来看，我国各地区创新系统不论是技术研发阶段，还是技术转化阶段，均有很大的提升空间。具体来看，内蒙古、广东、海南、重庆、贵州等5个省份，处于第Ⅰ象限，技术研发和技术转化两个子过程都表现为高效率。山西、河南、江西、河北、吉林、福建、云南、江苏、广西等9个省份，处于第Ⅱ象限，技术研发过程表现为低效率而技术转化过程表现为高效率，效率提升路径重点在于提高技术研发效率。黑龙江、辽宁、湖南、宁夏、甘肃、陕西、四川等7个省份处于第Ⅲ象限，技术研发和技术转化两个子过程效率都表现为低效率，在技术研发和技术转化方面均需做出很大努力。山东、湖北、天津、安徽、浙江、北京、上海等7个省份处于第Ⅳ象限，技术研发过程表现为高效率而技术转化过程表现为低效率，效率提升路径重点在于提高技术转化效率。这意味着各地区应结合技术研发和技术转化两个子过程的实际效率情况采取针对性措施，促进高技术产业创新加快从高研发投入支撑的粗放型增长模式向高创新效率支撑的集约型增长模式转变。　　②从演进过程来看，全国和东部、中部与西部三大经济区域高技术产业创新效率整体呈现上升趋势，但金融危机后上升趋势有所放缓，整体效率仍然处于较低水平。我国三大经济区域高技术产业创新效率分化明显，东部地区高技术产业创新效率明显高于全国及中西部地区，中西部地区高技术产业创新效率差距较小且明显低于全国平均水平。全国及东部和中部地区高技术产业创新效率存在明显的俱乐部收敛特征，省际高技术产业效率趋于一个共同的稳态水平;西部地区高技术产业效率存在明显的条件收敛但不存在绝对收敛，说明西部地区高技术产业效率趋于稳态水平。这意味着我国应为中部和西部地区高技术产业创新效率提升创造良好的宏观环境和提供倾斜性政策支持，促进各地区高技术产业缩小“技术鸿沟”进而推动创新效率向高水平收敛。　　③从影响因素来看，R&D科研资本投入、企业与高校的合作关系、企业与科研机构的合作关系、地方政府的支持、FDI以及市场化程度与高技术产业区域创新效率之间具有稳健的正向弹性关系，但R&D人力资本投入、企业参与程度、金融支持程度、教育环境、对外开放度与高技术产业区域创新效率之间的弹性关系并不显著。分区域来看，三大区域高技术产业创新效率的影响因素存在很大的差异，相对于中部地区和西部地区而言，东部地区在统计上显著的影响因素较多。这意味着由创新主体构成的网络关系以及由经济发展水平决定的市场化程度，在很大程度上决定了我国高技术产业区域创新效率的差异，也揭示出集群创新体系建设和市场经济体制改革在我国高技术产业区域创新效率提升中所具有的重要作用。