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为了研究无机成分掺杂对聚酰亚胺薄膜电性能的影响,本文测量了美国杜邦公司生产的原始聚酰亚胺薄膜(100HN型)和耐电晕聚酰亚胺薄膜(100CR型)的介电谱、直流体积电阻率以及电导电流特性曲线。设计并搭建了电晕老化装置,对两种薄膜进行了电晕老化处理。老化之后的薄膜,通过扫描电子显微镜观察了其表面形态,重新测量了相关的电参数,并与老化之前的结果进行了对比和分析。此外,采用溶胶-凝胶法制备了重量比分别为5%、10%、12.5%、15%和20%的Al2O3杂化聚酰亚胺薄膜,并对其相关的电参数进行了测量。通过对100HN型薄膜与100CR型薄膜相关电参数的测量,得出了以下的实验规律:(1)在102Hz~105Hz的频率条件下,30?C~150?C的温度范围内,两种薄膜的相对介电常数随着频率、温度的增加而减小;介质损耗角正切随着频率增加而增加,随着温度的增加先是减小而后增加;100CR型薄膜的相对介电常数与介质损耗角正切大于100HN型薄膜。(2)100HN型薄膜与100CR型薄膜的直流体积电阻率分别1.9×1017??cm和2.05×1016??cm。(3)随着温度的增加,两种薄膜的电导电流增加,100HN型薄膜的电老化阈值增加,而100CR型薄膜的电老化阈值减小;100CR型薄膜的电导电流明显大于100HN型薄膜。通过计算,100HN型薄膜与100CR型薄膜的陷阱俘获能级分别为0.9eV和0.7eV。在对100HN型薄膜与100CR薄膜进行电晕老化以后,两种薄膜的相对介电常数与介质损耗角正切都有所增加,电老化阈值明显降低;并且表面形态呈现不同的变化。不同掺杂含量的Al2O3杂化聚酰亚胺薄膜的相关电参数测量结果表明:随着掺杂含量的增加,Al2O3杂化薄膜的相对介电常数与介质损耗角正切增加,当掺杂含量达到12.5%时,两者的增加幅度加大;直流电阻率减小,电导电流增加,电老化阈值减小。