【摘 要】
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本文主要针对甲烷气体探测用的3.31μm窄带滤光片进行了膜系设计和薄膜制备。因为窄带滤光片设计中的一些参数会对其性能产生影响,为了揭示它们之间的变化关系,进行了窄带滤
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本文主要针对甲烷气体探测用的3.31μm窄带滤光片进行了膜系设计和薄膜制备。因为窄带滤光片设计中的一些参数会对其性能产生影响,为了揭示它们之间的变化关系,进行了窄带滤光片设计中通带半宽度、矩形度和陡度的影响因素研究,得到了一些有意义的数值模拟结果和结论。在此基础上,利用薄膜光学理论在膜系设计软件Essential Macleod中完成了基础膜系的设计和优化。根据光驰OTFC-1300真空镀膜机的性能,选定可行的基底材料和膜层材料以及相应的工艺参数,成功制备出符合设计指标的窄带滤光片,并对其进行了光学性能测试和机械性能测试,结果表明可以达到使用要求。对膜系设计和薄膜制备过程中出现的问题和得到的经验进行了讨论和总结。
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