纳米力学是研究纳米器件、材料与结构的重要参数,已成为纳米技术的重要研究内容。美国政府报告中提出有关纳米技术的三项光辉前景中有两项与纳米力学息息相关。纳米试样的机械测量是纳米力学测量的重要组成部分,可通过纳米压痕、划痕测量获得相应的纳米力学参数,而高质量的纳米试样是测量的物质基础。为此本文以制备高质量的纳米力学试样为目标,探索了一种全新声悬浮抛光方法,经过声悬浮抛光后的钨钢试样表面粗糙度从40nm(1300×940μm)降到8.99nm(1300×940μm),且表面无腐蚀。本文主要的研究内容有：1.设计制作了一套声悬浮抛光装置,主要包括超声波发生器、抛光容器以及工件安装夹具,选择了矩形换能器阵作为超声波发射端。2.根据研制的声悬浮抛光装置,对抛光容器内的声压场进行研究。通过Matlab进行数值仿真,并通过染色法、水听器法与仿真结果作比较。对比了自由面反射端、刚性壁反射端、声悬浮反射端对抛光装置内声压场影响,优化了声悬浮抛光装置结构尺寸。为进一步研究抛光槽内磨粒运动奠定了基础。3.通过PIV观测抛光槽内磨粒运动规律,磨粒运动方向与声压等势线大致相同,磨粒运动速度与声功率成正比。4.优化了声悬浮抛光加工工艺。并通过SEM、白光干涉法对比声悬浮抛光与机械化学抛光试样,验证了声悬浮抛光制作试样的有效性。