在激光驱动惯性约束核聚变(ICF)中,激光或X射线烧蚀压缩ICF靶以得到高密度等离子体。在压缩过程中,出现在烧蚀层或与燃料层界面的等离子体流体力学不稳定性及增长会降低压缩效率。这对靶制作提出了要求,例如烧蚀层和燃料层界面的粗糙度的均方差根小于1μm。为了诊断这类制作缺陷,常采用X射线背光照相,成像的空间分辨能力要求达到1-2μm。X射线衍射成像可实现近衍射极限的高空间分辨能力。本文首先通过X射线照射下的菲涅耳波带板(FZP)的参数模拟,来考察FZP环数变化、挡住FZP若干中心环对成像质量的影响。模拟结果表明FZP环数越多,成像对比度越高；被挡住的中心环数越多,成像质量越差。另外,为了与光学波段的FZP原理性实验结果作比较,我们计算了可见光入射时,菲涅耳波带板的对扩展源的成像。通过解析分析和数值模拟,在钛Ka线(4.5 keV)和铜Ka线(8.0 keV)等X射线背光照射情况下,比较了菲涅耳波带板(FZP)对物体直接透视成像与投影型相衬成像。结果表明,FZP成像可实现优于1μm的高空间分辨能力,并有利于使用大尺度背光源,对高透射或弱吸收透视物体,FZP难以成像,这时可采用投影型相衬成像,并实现微米级的空间分辨。模拟了微焦点X射线源照射存在厚度起伏的薄膜靶以及密度空间调制靶的相衬成像,点光源照射下对比度的解析分析和模拟一致,还讨论了光源大小、成像距离等参数对成像的对比度和空间分辨能力的影响。