CO2激光辐射消除玻璃边缘微裂纹的研究

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玻璃,作为一种材料有相当悠久的历史,是人们生活不可或缺一部分。随着电子和太阳能等工业的发展,玻璃又有了新的应用领域,这对玻璃的边缘质量提出了更高的要求。传统常用的物理和化学处理方法虽然在一定程度上可以满足要求,但效果并不是十分理想,同时在加工过程中还会产生大量废水,废酸等废弃物。本文题出一种新型的消除玻璃边缘裂纹的方法,通过激光辐射消除玻璃边缘微裂纹。论文选用波长为10.6μm的连续CO2激光器做激光源,以3mm超白玻璃为主要研究对象。被处理玻璃基板放置在速率可调的可移动平台上,激光光束与被处理玻璃基板的端面垂直,依次处理玻璃的四个端面。为了解在加工过程中玻璃的温度变化,利用ANASY软件建立了有限元模型,对激光辐射作用下玻璃边缘温度场进行了模拟。用光学显微镜对处理前后玻璃边缘微裂纹情况进行表征。采用多组不同的工艺参数进行了一系列实验,研究了不同激光功率,斑点大小和移动速率对实验结果的影响,并用5mm厚玻璃做对比实验。得到如下实验结果:1、激光斑点决定了单位面积玻璃基板接受的能量的大小,当激光斑点过小时,会在玻璃表面溅炸出小空洞,增大斑点,这种情况会得到改善。实验的最佳斑点直径范围为4mm~8mm。2、激光功率密度的大小会对处理结果产生非常明显的影响,功率密度越大,单位面积的能量越大,处理效果越明显,但前提是激光功率必须足够大,即不小于15W。当激光功率足够大时,激光功率密度大于100W/cm2,玻璃边缘会产生明显的变形。3、样品移动速率决定了单位时间内玻璃基板接收到的能量的大小,在一定条件下,比较慢的移动速率处理效果比较好,实验发现,样品的移动速率最好不超过0.5mm/s。4、通过5mm玻璃的对比实验可以知道,对于不同厚度的玻璃的处理工艺参数是不同,需要在具体实验中摸索合适的工艺参数。
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