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铌酸锂(LiNbO3)有大的铁电、压电、电光、声光、非线性光学等性质,可广泛被用于光波导调制器、传感器、偏振器等光波导器件的制备。光学器件是集成光学中非常重要的组成部分,薄膜材料制备的器件在很多方面优于体材料器件,因此在硅基片上沉积LiNbO3(LN)薄膜并对其性质进行研究将会对集成光学器件研究及光通信的发展起到一定的促进作用。氧化锌(ZnO)能带隙大、激子束缚能高是很好的掺杂基质,可用于照明、太阳能电池、导电薄膜等研究领域。稀土离子有丰富的能级结构、发光范围宽,多被应用于制备有源器件。Er离子的跃