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该论文工作主要是用射频反应磁控溅射方法研究立方氮化硼薄膜的沉积和生长机制以及应力问题.立方氮化硼(cBN)具有闪锌矿结构,其硬度仅次于金刚石.它的摩擦系数很小,而且化学稳定性很好,适合物作刀具的特别是加工铁基合金的刀具的涂层,这是因为它不象金刚石那样与铁有较强的亲和力.
立方氮化硼薄膜沉积的研究
【摘 要】
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该论文工作主要是用射频反应磁控溅射方法研究立方氮化硼薄膜的沉积和生长机制以及应力问题.立方氮化硼(cBN)具有闪锌矿结构,其硬度仅次于金刚石.它的摩擦系数很小,而且化学
【机 构】
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吉林大学
【出 处】
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吉林大学
【发表日期】
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1997年期
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