石墨烯基气敏传感器的研究

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在当今快速发展的社会中,发展应用于环境监测的高灵敏度、快速响应的新型气敏传感器,在保护环境、保护人体健康等方面具有重大意义。自从石墨烯问世以来,石墨烯以其大的表面比、高的载流子迁移率、高的灵敏度、高的信噪比等特性,引起了各个领域的学者广泛的研究,尤其在制备高灵敏气敏传感器方面表现出巨大的潜力。本文利用低压化学气象沉积法(Low-Pressure Chemical Vapor Deposition, LPCVD)成功制备了高质量的单层石墨烯,并在PMMA转移法基础上,提出一种新的转移方法——EC(乙基纤维素)转移法,此种方法大大地减少了转移过程中对石墨烯的掺杂。在制备高性能的石墨烯基气敏传感器方面,臭氧处理是一种非常简便、高效低成本的方法。通过定量和定性讨论不同时间臭氧处理的石墨烯基气体传感器对不同浓度N02气体的响应特性、恢复特性、重复特性,臭氧处理75s的石墨烯基气体传感器对lOppm NO2响应度为32.4%,是未经处理的石墨烯基气体传感器的2.8倍,恢复时间也较短且其极限响应浓度为150ppb,低于世界卫生组织(WHO)空气质量标准(200ppb,1小时平均值)。通过探索石墨烯对HCHO的响应特性,发现经过双重嫁接的石墨烯基HCHO气敏传感器表现出优异的响应特性,对lOppm HCHO响应度达到10%以上,最低响应极限达到1ppm,且随浓度增大,石墨烯的响应度呈指数式递增,表现出优异的气敏传感器性能,具有较高的应用价值。
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