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自然界中壁虎具有非常优秀的吸附能力,可以自由行走在光滑的墙壁上,甚至是天花板上。壁虎脚掌的微米级刚毛结构和纳米级绒毛结构,是保证其产生巨大粘附力且能适应不同表面形貌的关键。这种精细的结构广泛应用于MEMS领域和各种机器人领域,本文中将壁虎的这种结构应用到生物医学领域,把壁虎刚毛结构应用到柔性微传感器上,使柔性微传感器可以直接粘附在皮肤上直接测量生理信号。实验中将柔性微传感器和仿壁虎刚毛结构结合在一起做了如下工作。仿壁虎刚毛纤维小柱阵列的制作方法有很多,本文采用两种先进的工艺方法来制作。一种方法是利用