【摘 要】
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L10FePt薄膜由于具有高的磁晶各向异性能，小的室温超顺磁临界尺寸，适当的饱和磁化强度和良好的化学稳定性，成为下一代超高密度磁记录介质的首选材料。本论文使用磁控溅射制备了[
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L10FePt薄膜由于具有高的磁晶各向异性能，小的室温超顺磁临界尺寸，适当的饱和磁化强度和良好的化学稳定性，成为下一代超高密度磁记录介质的首选材料。本论文使用磁控溅射制备了[Fe/Pt]n、[FeC/Pt]n、Ag/FePt和FePt薄膜，主要利用X射线荧光光谱仪(XRF)、X射线衍射仪(XRD)、振动样品磁强计(VSM)和原子力显微镜(AFM)等多种测试手段研究了薄膜的微观结构和磁学性能。论文共分为六章内容。第一章为绪论部分。主要介绍磁记录技术发展进程，磁记录原理，超高密度磁记录对介质性能的要求，主要的磁学参数，Fe-Pt二元合金相图和晶体结构，L10FePt薄膜的研究热点以及本文的主要研究内容。第二章主要介绍了薄膜的制备方法，实验介绍以及表征方法。第三章主要研究了重复周期、热处理温度和磁场热处理对薄膜的微观结构、相转变和磁学性能的影响。第四章主要研究了Fe(Pt)单层厚度、热处理温度和C元素的添加对薄膜的微观结构和磁学性能的影响。第五章主要研究了Ag底层厚度、升温速率和保温时间对薄膜的微观结构和磁学性能的影响。第六章主要研究了磁场热处理对薄膜的微观结构和磁学性能的影响。最后是结论和展望。
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