【摘 要】
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压电晶体切割成各种切型的基片广泛应用于换能器、滤波器、传感器等声表面波器件。晶体的压电性能可通过其压电参数来表征,由于压电体的各向异性,同一晶体的不同切型的基片有
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压电晶体切割成各种切型的基片广泛应用于换能器、滤波器、传感器等声表面波器件。晶体的压电性能可通过其压电参数来表征,由于压电体的各向异性,同一晶体的不同切型的基片有着不同的压电参数。本文针对压电晶体旋转切割时可能存在的误差,以及由此引起的压电参数的变化,从理论上简单讨论了切割误差对声表面波器件的性能影响,尤其是对声表面波滤波器的中心频率可能产生的影响。 在本文前两章,我们主要介绍了压电晶体和弹性表面波方面的背景知识,第三章和第四章是本文所作的主要工作。在第三章,通过坐标变换的方法研究了压电参数随切型的变化,并以石英和铌酸锂晶体为例,给出了它们的压电参数随各种切型的具体变化情况。由此,就可以求得在任意切割角度下的压电参数值。紧接着在第四章,通过编写的求解压电体中的表面波速度的数值计算程序,计算了存在切割误差下的石英和铌酸锂压电基片上的声表面波速度值,并以一种常见的电视中频滤波器为例,重点讨论了该误差对其中心频率的影响程度。计算结果表明,这种切割误差对声表面波滤波器中心频率有一定影响。
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