基于光纤Michelson和Fabry-P(?)rot混合结构干涉仪的传感特性研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ww4102001
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随着光纤传感技术的发展,光纤传感器的应用范围得到了极大地拓展。光纤传感器具有结构灵巧多样、可测量对象广、抗电磁干扰及腐蚀、可远程监测等优势,因此在化学化工、航空航天、工业生产、工程维护、环境监测等领域备受工作人员的青睐。本文提出了一种基于光纤Michelson干涉仪与光纤Fabry-P(?)rot干涉仪级联的混合型传感结构,该结构可以实现温度与横向压力的同时测量。本文的主要研究内容如下:首先在理论上分析了光纤Michelson干涉仪的基本原理及其温度传感原理,制作了基于错位熔接的光纤Michelson干涉仪,其错位熔接量为5μm、6μm、7μm,通过实验研究了三种干涉仪结构的温度传感特性,分析了错位量与所激发高价模式的关系。实验探究了光纤Michelson干涉仪的横向压力传感特性。其次对空气腔光纤Fabry-P(?)rot干涉仪的传感原理进行阐述,并分析了该结构对横向压力传感的基本原理。介绍了空气腔光纤Fabry-P(?)rot干涉仪的制作过程,通过干涉频谱的傅里叶变换分析其干涉成分。通过实验探究了空气腔长为69μm、83μm和108μm的光纤Fabry-P(?)rot干涉仪的温度传感特性,以及传感结构微球腔中空气腔位置的变化对横向压力传感实验的影响。通过实验探究了空气腔光纤Fabry-P(?)rot干涉仪的温度传感特性。最后通过理论分析了双参量同时测量的原理。对混合结构进行了制作。其结构参数为:错位熔接量为6μm、空气腔到错位熔接点的距离是5.05cm、空气腔位于微球中部、空气腔长为123μm。对混合型传感结构进行横向压力与温度的传感实验,分别得到两个追踪点在0N-3.332N范围内的横向压力灵敏度,以及在35oC-60oC范围内的温度灵敏度。最后使用2阶转换矩阵实现了横向压力与温度的双参量同时测量,并得到传感结构在实验系统中的横向压力与温度的探测分辨率。
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