无机溶胶—凝胶法制备VO2薄膜及其性能研究

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二氧化钒(V02)是一种被广泛研究的具有热致相变特性的热敏材料。当温度升高到68℃附近,发生晶相的转变,相变前后光学,电学性能突变,因此在很多领域具有重要的研究价值。近年来,V02在智能窗,激光防护等领域取得了很好的进展。本文采用无机溶胶-凝胶法制备V02薄膜。通过实验探索了制备V02薄膜的工艺条件。探讨了不同热温度,不同保温时间下制备V02薄膜的较佳条件以及不同掺杂方式及不同掺杂原料对于薄膜性能的影响。运用XRD分析薄膜的物相,SEM观测薄膜表面形貌及厚度,红外-可见分光光度计测试了常温、高温下的薄膜透过率及相变温度。结果表明当五氧化二钒溶胶(V2O5)与无水乙醇比例为1:10时,可通过提拉法五氧化二钒薄膜。制备V02薄膜的较佳工艺是热处理温度550℃,热处理保温时间4h。热处理条件与薄膜的厚度是负反馈关系。共熔融掺杂方法有效掺杂率大于混合掺杂方式,但二者掺杂效果都不理想。
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