透明导电薄膜是指在可见光范围内平均透过率达到75％以上，并且电阻率小于10-3Ω·cm的薄膜，研究最多的有In、Zn、Sb和Cd等的氧化物，也包括这些金属的多元氧化物薄膜材料。透明导电薄膜被广泛应用于太阳能电池、平面显示、薄膜晶体管(TFT)等领域，其中航空航天器和巡航导弹等也需用透明导电薄膜。在诸多透明导电薄膜中，CdO薄膜是一种立方晶系、直接带隙半导体，其禁带宽度为2.3eV，由于载流子浓度高、透过率高、成本低以及在室温状态下易沉积等特点而更广受关注。　　 本文总结了目前研究的比较多的透明导电薄膜，并对各种生长技术和原理做了比较系统的论述。本论文在室温下采用射频磁控溅射，在PET柔性衬底和玻璃上制备了结晶取向性良好的CdO薄膜；利用X射线衍射仪、四探针，紫外-可见光谱仪、扫描电子显微镜等对CdO薄膜的结构性能、电学性能和光学性能进行了测试和分析；研究了氧气流量、衬底温度、溅射功率、溅射时间等各种工艺参数对CdO薄膜性能的影响；利用Al和Cd靶溅射时间的不同实现对Al2O3和CdO薄膜厚度的控制，实现调节双层增透膜从而提高透射率的作用，并研究不同厚度的Al2O3薄膜对CdO薄膜光学性能的影响；最终在良好电学性能的基础上提高了CdO薄膜在可见光波长范围内的透射率。　　 研究结果表明：(1)CdO薄膜电阻率会随着氧气流量的增加先缓慢上升，达到15sccm时，电阻率急剧增大；(2)衬底加热使CdO薄膜的电阻率下降而透光率无显著变化；(3)随着溅射功率和溅射时间的增加，薄膜的方块电阻减小，但是透射率减小；(4)相对于单层CdO薄膜，Al2O3-CdO双层结构的透明导电薄膜的平均透光率得到了很大的提高；(5)保持CdO薄膜厚度不变，薄膜在各个波段的增透效果取决于Al2O3薄膜厚度，Al2O3薄膜厚度为55nm时双层膜在可见光范围内透光率最高，Al2O3薄膜厚度为82nm时双层膜在红外光范围内透光率最高。