近年来,离子束技术在各种材料表面纳米结构的形成和精确控制方面显示了其独特性和有效性,这方面的研究对材料表面改性的实际应用有非常重要的意义。本文分为两部分,一部分是对中能离子诱导云母表面纳米结构形成的研究,另一部分是对低能离子诱导云母表面纳米结构形成的研究(本实验中用的云母为白云母)。在第一部分中我们采用了能量为0.34-6 MeV的Li,C,O离子来辐照云母,研究了其诱发云母表面的纳米峰结构的特征,并对先前做的一些实验结果做了数值上的模拟对比,采用非弹性热峰模型的数值计算获得了与实验较好的符合。第二部分我们采用加速电压为2.3kV和8kV的Xe离子辐照云母材料,研究了其诱发云母表面产生的纳米峰结构,这部分除了采用离子垂直入射的方法,我们还采用了离子在不同角度下的掠入射。两部分实验的结果如下:对于第一部分的研究我们发现纳米峰的底部直径和高度随入射离子的电子能损升高而变大,并且纳米峰结构是峰高比峰底部半径大的尖峰形状。非弹性热峰模型计算的纳米峰直径和实验测得的纳米峰直径基本一致,预测的电子能损的阈值明显低于本次实验的测量值。第二部分的研究发现在垂直入射时峰的高度和底部直径随着离子携带势能的升高而变大,垂直入射时小峰的平均高度和底部平均直径的比值基本不会随着入射离子价态的变化而变化;在掠入射的情况下,相同的掠入射角度下峰的高度随离子势能的升高而降低,并且峰的高度都要高于在垂直入射情况下的峰高度。相同入射角度其离子价态的变化或不同的掠入射角度的变化会影响小峰底部形状的变化,离子价态越高或掠入射角度越大小峰底部直径的形状呈现更加明显的椭球状。