在机械加工过程中,切削热和切削温度对工件的加工有很大的影响,薄膜热电偶测量切削温度是一种方便快捷的测温方法之一。为了实现车削时切削温度准确、实时的监测,本文对车刀嵌入薄膜热电偶测量切削温度的相关技术进行了研究。研究刀具切削机理的基础上,利用有限元软件DEFORM-3D对刀具前刀面温度场进行了有限元模拟仿真,分析了刀具前刀面温度场的分布规律。基于热电偶测温理论及新型薄膜制备技术,针对刀具前刀面、后刀面温度分布规律,设计了不同的薄膜热电偶结构方案及Ni Cr-NiSi嵌入式薄膜热电偶测温刀具。在FJL-560a型磁控与离子束复合溅射沉积系统上,开展了NiCr-NiSi薄膜热电偶制备的试验研究。以载玻片为基底,采用单因素实验方案研究了氩气工作流量、溅射功率、工作压强三个因素对薄膜热电偶性能(薄膜厚度、表面粗糙度、电阻率)的影响规律。在此基础上,优化工艺参数并设计了正交实验方案,继续在载玻片基底上进行试验研究,获取了较合适的热电偶薄膜制备工艺参数。利用优化后的溅射工艺参数,分别在不锈钢基底,硬质合金刀具表面上进行了薄膜热电偶制备的试验研究。对不锈钢为基底制备的薄膜热电偶样品进行了性能检测,结果显示导电性、电极尺寸等性能基本达到预想要求,灵敏度达到了18.4μV/℃,还有一定的提升空间,最后在硬质合金刀具表面成功制备了不同尺寸的薄膜热电偶样品。为后续实验研究切削加工中切削温度测量的研究奠定了基础。