针对微细电解加工中阳极溶解定域性问题和微小间隙控制难的特点,本文以电解液为出发点,采用超纯水作为电解液。由于不含电解质,其间隙可以控制在很小的范围(<50μm),而小间隙对提高电解加工的定域性非常有帮助。由此引出了另外两个难题: (1)如何提高加工区电流密度并使其达到电解加工的要求; (2)如何对微小间隙进行控制并保证加工过程的稳定性。 着手上述难题一,本文采取在阴阳极之间放置离子交换树脂(膜)的措施,这样增强了超纯水在电场作用下的解离,并提高了加工区的电流密度。着手难题二,本文设计一套实用的超纯水微细电解加工送进机构,该机构拟在加工时采用压电陶瓷驱动器微进给,在对刀时使用步进电机。 为满足微进给机构分辨率高、定位精度好、进给量足够大、对控制的可操作性强等要求,本文设计了一套适合PA 50/12型压电陶瓷微位移器的驱动电源,同时设计了该驱动电源的控制器,该控制器由 MCS-51 单片微机控制,能够对电源进行复位和清零;还可根据加工要求,设定电压上升时间以及点动调节电压,从而达到对输出位移进行控制的目的。 最后,本文对驱动机构的执行情况进行了检测,并利用微位移送进装置进行了工艺实验,分析了工艺实验中的各个参数对实验结果影响。