随着社会的发展和人们生活水平的提高，湿度检测已成为一个重要课题。诸如：食品存储，工农业生产，以及环境监测等等，均离不开对湿度的监测，因此，湿敏传感器应运而生。湿敏传感器是用于检测外界环境的湿度，并将其转换为可以测量的信号的一类器件，它由电极，感湿材料，和测试电路组成。其中，感湿材料是构成器件的重要组成部分。湿敏传感器感湿材料的选择依据是：材料的比表面积大，拥有较多的能与水发生相互作用的活性位点，材料的物理和化学性质稳定。本论文选择了多孔材料和NaTaO3作为感湿膜。多孔材料具有独特的孔道和优越的比表面积，论文中分别选择了NaA分子筛和NH2-MIL-125(Ti)两种多孔材料为感湿膜，进行研究。NaA是较为经典的一类分子筛，它是由4元环和6元环相互连接，在其晶胞的中心形成一个笼的三维骨架结构。孔口由8元环围成，直径是4.1，笼的最大直径约为11.40。该结构中，有Na+作为阳离子平衡电荷，使整个结构呈中性，因此具有良好的物理和化学稳定性。在较为苛刻的条件下，它仍能保持结构完整。NH2-MIL-125(Ti)是由金属钛和2-氨基对苯二羧酸桥连构成的三维骨架结构，该结构包含两种孔笼，一种是八面体，另一种是四面体，它们的自由孔径在5~7。此外，NH2基团并未参与配位。NH2-MIL-125(Ti)不仅具有较大的孔容和比表面积，而且在其孔壁上有很多亲水活性位点。另外，NH2-MIL-125(Ti)在100%RH环境中，结构仍稳定存在。同时，为了进一步提高基于NaA分子筛和NH2-MIL-125(Ti)的湿敏性能，对它们分别进行了掺杂处理。NaTaO3材料是一类钙钛矿型化合物，它不仅具有钙钛矿化合物的独特的优点，而且具有与水相互作用的活性位点，可以将其利用在湿敏传感中，论文中研究了NaTaO3为敏感膜的感湿性能。本论文的主要内容如下：（1）采用水热法合成了NaA分子筛，制成了基于NaA的湿敏传感器。在相对湿度11%RH~95%RH，器件阻抗-相对湿度线性度良好，同时，器件具有很好的长期稳定性。向NaA中掺入LiCl，创新性的制成了基于LiCl/NaA的湿敏传感器，LiCl的引入，使器件在全湿范围内，灵敏度得到了提升。（2）采用溶剂热法合成NH2-MIL-125(Ti)，制成了基于NH2-MIL-125(Ti)的湿敏传感器。该器件在11%RH到95%RH范围内，阻抗值跨越了约2个数量级，且阻抗-相对湿度线性关系良好。将FeCl3掺入到NH2-MIL-125(Ti)中，创新性的制成了基于不同质量比的Fe-NH2-MIL-125(Ti)湿敏传感器。湿敏测试表明：最佳掺杂比例为8wt%。基于Fe-NH2-MIL-125(Ti)（8wt%）的器件在全湿范围内，灵敏度进一步提升，阻抗的变化量扩至约3个数量级，阻抗-相对湿度线性度良好。（3）采用水热法制成了钽酸钠纳米粒子，并制成了基于钽酸钠的湿敏传感器，当湿度在33%RH到95%RH时，器件的阻抗减小了3个数量级，并且阻抗-相对湿度线性关系良好，器件的湿滞较小。本论文通过以上三个方面的工作，得到NaA分子筛和NH2-MIL-125(Ti)两种多孔材料和钽酸钠材料均可以作为感湿膜。同时，通过掺杂处理，能进一步改进湿敏性能，为湿敏传感器感湿材料的开发提供了一个新的途径。